Физические основы микро- и нанотехнологий
Бычков С.П.
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смеж- ных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехноло- гий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физичес- ких явлений, процессов и сред, являющихся основой этих техноло- гий. Приведены методы преобразования фундаментальных физичес- ких законов в прикладные технологические зависимости, расчеты фи- зических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специально- сти «Электронное машиностроение».
년:
2009
출판사:
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
언어:
russian
페이지:
176
ISBN 10:
5703833191
ISBN 13:
9785703833193
파일:
PDF, 6.86 MB
IPFS:
,
russian, 2009